《希泰科技：刻蚀技术领域的 "隐形冠军" 如何撑起中国半导体产业脊梁 —— 从 0.05 毫米焊接波纹管到 7 纳米刻蚀设备的国产化突围》

2025-06-03 09:36:55 来源：互联网

【每日科技网】

《希泰科技：刻蚀技术领域的 "隐形冠军" 如何撑起中国半导体产业脊梁 —— 从 0.05 毫米焊接波纹管到 7 纳米刻蚀设备的国产化突围》

希泰科技：半导体刻蚀设备零部件的国产化突围之路

2025 年 6 月 3 日讯在全球半导体产业技术封锁加剧的背景下，辽宁希泰科技有限公司以等离子体刻蚀设备关键零部件的技术突破，成为支撑中国半导体产业链自主可控的 "配套脊梁"。这家从焊接波纹管起步的企业，用 15 年时间实现产值增长 40 倍，打破国外在半导体设备核心部件领域的长期垄断，为中微半导体、北方华创等头部企业提供 7 纳米及以下制程刻蚀设备的关键零部件。

一、微米级工艺突破：0.05 毫米金属片的 "大国重器" 担当

在希泰科技的无尘车间内，工人们正通过微束等离子焊接机，将厚度仅 0.05 毫米的金属片焊接成波纹管 —— 这种看似普通的零部件，却广泛应用于光刻机真空腔体、核聚变超导磁体乃至中国空间站精密仪器。企业总经理孙艳朝介绍：

技术壁垒：焊接波纹管需满足变形量微米级、疲劳寿命超 1000 万次的严苛标准，国外曾长期垄断该领域
自主创新：通过自主研发的双层高精密焊接技术，希泰将产品寿命提升至国际标准的 1.5 倍，材料变形控制精度达 0.001 毫米

目前，希泰已成为中微半导体、北方华创等企业的核心供应商，其生产的刻蚀设备零部件直接应用于 7 纳米及以下制程的国产刻蚀机，在半导体设备 "卡脖子" 领域实现关键突破。

二、全产业链布局：从单一产品到半导体核心部件集群

2010 年成立之初，希泰仅能生产普通波纹管；如今已形成覆盖四大领域的全产业链能力：

核心产品矩阵：
▶ 半导体刻蚀设备零部件（7 纳米制程量产供应）
▶ 真空腔体（应用于光刻机、离子注入设备）
▶ 精密机加件（精度达 0.1 微米）
▶ 半导体分立器件（自主研发封装工艺）
技术创新成果：
▶ 累计申请专利 30 余项，微束等离子焊接工艺、真空密封技术填补国内空白
▶ 参与国家 "极大规模集成电路制造装备与成套工艺" 专项
▶ 成为国内少数具备 7 纳米刻蚀设备零部件量产能力的供应商

三、研发投入驱动：从 "跟跑" 到 "并跑" 的技术跃迁

企业规模的几何级增长背后，是持续加码的研发投入：

人才与产能：员工从近百人增至近千人，技术团队兼具编程、设计与研发能力，沈阳研发中心即将投入 2 亿元扩建
大科学工程突破：2020 年成功研发 CEPC 粒子加速器屏蔽式焊接波纹管，解决国家重大科技基础设施国产化难题，获 "辽宁省瞪羚企业" 认证
未来规划：重点攻关光刻机用超高真空组件，目标三年内实现半导体设备零部件国产化率超 90%

四、行业价值透视：半导体配套领域的 "隐形支撑"

在半导体制造链条中，刻蚀设备零部件虽属配套环节，却决定着设备性能的关键指标：

技术关联：刻蚀设备的精度、稳定性直接依赖零部件的密封性能与耐腐蚀性，希泰产品使国产刻蚀机的工艺良率提升 12%
产业带动：作为国家集成电路零部件技术创新联盟成员，希泰带动上下游 20 余家企业形成产业集群，降低半导体设备制造成本 30%

孙艳朝坦言："核心技术没有捷径。我们曾连续 6 个月推翻上百种设计方案。" 如今，希泰的无尘车间洁净度超过手术室，检测设备精度达纳米级，正以 "隐形冠军" 的姿态，为中国半导体产业崛起提供不可或缺的 "配套脊梁"。

记者手记

从实验室里的 "一根管" 到大国重器的 "顶梁柱"，希泰科技的 15 年蜕变，印证了中国制造业从 "制造" 到 "智造" 的韧性。在半导体自主化浪潮中，这类专注细分领域的 "隐形冠军"，正以毫米级的精度积累，撑起中国科技突围的万丈高楼。

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