晶瑞电材:公司光刻胶产品达到国际中高级水准

2021-09-03 11:16:51 来源:IT之家
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晶瑞电材:公司光刻胶产品达到国际中高级水准

  八月二十五日,晶瑞电材在投资者互动平台上表示,公司光刻胶产品达到国际中水平,在国内享有悠久的声誉,稳定生产光刻胶近三十多年,是国内最早批量生产光刻胶的企业之一。

  光刻胶是世界上技术门槛的微电子化学品之一。高端产品的研发和生产主要由日本JSR、新悦化学、东京应化等少数公司垄断。

  晶瑞电材表示,公司承担并完成了国家02专项“i线光刻胶产品开发及产业化”项目。

  公司是中国历史最悠久、供应的光刻胶生产企业之一,产品序列齐全,产业化规模和盈利能力处于行业水平。其中,g/i光刻胶已向中芯国际、合肥长信等知名大型半导体制造商供应,KrF(248nm深紫外线)光刻胶已完成中试。目前已进入客户测试阶段,测试通过后即可进入量产阶段。

  ArF高端光刻胶研发已正式启动,旨在开发符合90-28nm芯片制造工艺的ArF(193nm)光刻胶,满足集成电路行业关键材料的市场需求。

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