瞄向下一代光刻机EUV方案突破，这家激光智造公司在深圳秀出实力

　　2025 年 9 月 10 日，第二十六届中国国际光电博览会(CIOE)在深圳国际会展中心盛大开幕。本届深圳光博会汇聚了来自全球超 30 个国家和地区的 3800 余家优质企业，预计吸引超过 16 万名专业观众参与。作为中国唯一、全球唯二掌握碟片激光核心技术并实现工业化生产的中国企业，苏州中辉激光科技有限公司携系列重磅产品精彩亮相本届展会，以“中辉激光，面向未来”为主题，向全球展示中国激光设备的创新实力与产业雄心。

　　中辉激光展位(图片来源：中辉激光)

　　聚焦激光智造，碟片技术引关注

　　当前，我国激光制造产业正处于规模扩张与质量提升的双重转型期。根据中国光学学会的数据，2024年中国激光设备销售收入占全球市场份额达 56.6%，已经成长为全球最大的激光应用市场。随着新能源汽车、新型光伏、半导体等战略产业的快速发展，激光技术在精密加工、先进封装等领域的需求还将继续呈爆发式增长。

　　而激光器凭借着在整个激光产业中的核心光源器件与技术引擎地位，长期在激光设备中占据着40%以上的价值量。近年来，碟片激光器作为新崛起的技术更是吸引着相关企业轮番竞逐，在一些如下一代光刻机EUV方案等引人关注的“卡脖子”难题上，碟片激光器也在成为强有力的路线竞争者。

　　中辉激光作为国内首家高功率碟片激光器供应商，此次参展重点展示了其在激光智能制造领域的代表性产品。作为一家成立仅仅四年的公司，中辉激光不仅实现了对国外高端激光器技术垄断的突破，并走出了一条自主且特色鲜明的企业发展路径。

　　中辉激光董事长颜永振表示：“在现代制造业当中，激光是非常重要的存在，被誉为制造业‘最快的刀’。而我们中辉激光选择攻关难度最大、国内尚属空白的碟片激光器，就是坚信其在平均功率和脉冲能量上的天然优势有助于我们在工业制造领域中做深做广。”

　　技术破壁，打开未来想象空间

　　在本次展会上，中辉激光共展示了4款战略级产品，其中，国内首款“批量交付”千瓦飞秒超快激光器UFL1000和年底即将发售的高功率紫外纳秒激光器NSL1000持续引发行业广泛关注。

　　中辉激光千瓦飞秒超快激光器兼具高平均功率、大单脉冲能量、窄脉宽和高重频的特征，同时具备脉冲宽度可定制的特点，采用模块化设计降低系统复杂性和零件成本，并通过智能化闭环控制系统保障使用稳定性，可广泛应用于特殊金属和SiC等超硬材料加工。

　　中辉激光千瓦飞秒超快激光器UFL1000(图片来源：中辉激光)

　　而即将发售的高功率紫外纳秒激光器则是中辉激光多年的技术积累和创新成果的集大成者，拥有更高的功率、更优异的光束质量以及更稳定的性能，将在脉冲激光沉积(PLD)、激光剥离(LLO)、激光退火(LA)等多个工艺场景，为超导材料制备、OLED显示、乃至半导体晶圆加工等不同行业提供了更具性价比与加工效率的解决方案。

　　中辉激光高功率紫外纳秒激光器NSL1000(图片来源：中辉激光)

　　中辉激光总经理章淼介绍：“这些产品的推出，标志着中辉激光已跻身全球超快激光器先行者行列，可以赋能工业制造的千行百业。未来，我们中辉激光还将在超导材料制备、国产EUV光源、可控核聚变激光点火等国家世纪性战略工程中承担极为重要的任务和使命。”

　　面向未来，持续引领激光行业发展

　　当前，我国工业制造领域正处于“机械加工”向“光加工”升级的关键时期，制造业对自动化、智能化生产模式的需求日益增长。中辉激光凭借技术优势，已参与科技部“十四五”国家重点研发计划重点专项中。

　　着眼未来，中辉激光将继续深耕千瓦超快激光器平台，目标规划将产品功率提升至 5 千瓦甚至万瓦量级，持续推动激光技术在更多高端制造场景的深度应用。尤其是在国人关心的光刻机EUV领域，中辉激光也不断夯实技术基本功，有望为国产突破作出新的贡献。

　　颜永振董事长强调：“激光技术的终极使命不是制造设备，而是重塑制造业的底层逻辑。中辉激光目标是让中国激光技术不仅照亮高端制造的现在，更定义全球产业变革的未来。”