东方晶源亮相SEMICON CHINA 全新产品矩阵展现高质量发展“芯”活力

　　6月29日-7月1日，全球半导体行业盛会SEMICON CHINA 2023在上海新国际博览中心盛大召开，9万平方米展览面积、4200多个展位、数十万名专业观众创下大会新的纪录，反映出我国半导体产业蓬勃向上、热度空前。

　　作为国内集成电路领域良率管理领军企业，东方晶源携全新产品矩阵亮相大会，向业界全面展现公司在电子束检测量测、芯片制造EDA工具等领域的新产品、新成果、新突破，彰显出细分领域的技术实力以及高质量发展的创新活力。

　　本届SEMICON CHINA，东方晶源展台位置突出、整体设计风格简约大气、科技感十足，产品矩阵更加清晰完整。自上届SEMICON CHINA之后，公司保持高速的发展态势，在行业内形成了巨大的影响力和关注度。6月29日上午，北京经济技术开发区管委会主任孔磊等重要领导莅临东方晶源展位进行参观，董事长兼CTO俞宗强博士亲自介绍了公司新产品以及取得的技术新突破。孔主任对东方晶源的发展成果给予了高度评价并勉励企业，继续发挥的技术优势，加大产业化布局，实现全方位发展。

　　此外，东方晶源展台还吸引了超过50家客户，众多业界专家、合作伙伴、投资人和行业媒体的关注和到访，展台热度异常火爆。到场人员详细了解公司情况，询问产品技术细节，与展台工作人员深入探讨合作机会，共同寻求未来发展的新机遇。

　　DR-SEM正式亮相 电子束检测量测领域优势再扩大

　　本次展会，东方晶源电子束缺陷复检设备DR-SEM(型号：SEpA-r600)正式亮相。该设备可满足28nm及以上逻辑、3D-NAND、DRAM制程的缺陷复检需求，具备全自动Review、结构透视和元素分析能力，D2D算法的加持令设备具有的捕获率。目前已出机到客户端进行产线验证，获得多个订单。DR-SEM是东方晶源在电子束检测领域的又一力作，在增加企业竞争力，行业影响力方面具有重要意义。

　　此外，东方晶源三款经过产线验证并进入量产的电子束检测、量测设备，通过不断迭代升级，产品性能取得大幅提升。电子束缺陷检测设备EBI已进入28nm产线全自动量产超过2年，Uptime超过90%，UT(设备使用率)超过80%，电子束图形分辨率、视场、关键缺陷抓取率等关键指标已达到行业主流水平。

　　12英寸、6/8英寸关键尺寸量测设备CD-SEM均已进入产线量产多时，可支持Line/Space, Hole/Elliptic, LER/LWR等多种量测场景、满足多种成像需求。此外，东方晶源CD-SEM还具备基于设计版图文件离线编辑Recipe功能(选配项)。值得一提的是，东方晶源推出的12英寸EBI和12英寸、6/8英寸CD-SEM均为国内首台，填补国内相关领域空白。

　　计算光刻软件领衔 芯片制造EDA工具再添两个新成员

　　东方晶源计算光刻软件PanGen，打破国外技术垄断，是国内且成功在国内主流逻辑和存储Fab先进制程节点进行量产应用的OPC软件。CPU+GPU混合超算架构、反向计算光刻ILT等前沿技术的运用，令PanGen具有出众的性能。同时PanGen计算光刻平台已具备完整的功能链条，包括的制程仿真，DRC，SBAR, ILT, OPC, DPT 以及SMO，可提供全套计算光刻解决方案，领跑国内相关领域发展。

　　新产品YieldBook依托于公司的计算光刻OPC技术和电子束设备产品，结合自主开发的D2DB和DTCO技术，实现芯片研发与生产制造全过程的数据管理，有力支持芯片制造全流程一体化良率管理和提升。目前已在主流Logic Fab 28nm产线验证中，即将进入另一个大型Fab进行验证。

　　严格光刻仿真软件PanSim是东方晶源聚焦国内又一空白领域所打造的新产品。该软件依托于物理模型对光刻过程进行仿真，模拟各种光刻工艺条件，为光刻工艺工程师在进行新技术节点研发和改进生产工艺阶段提供重要参考，可大大降低研发成本。目前，PanSim已经在客户端进行验证，作为一款完全国产化的严格光刻仿真工具，将打破被西方所垄断的局面。

　　从2014年创立至今，九年来东方晶源取得了跨越式的发展。随着5月份公司股份制改造顺利完成，IPO之路已全面开启，公司也将迈入更加快速的发展新阶段。目前，公司发展战略清晰，组织和人才策略不断夯实，在核心技术上进一步高筑竞争壁垒。未来在国家半导体产业发展布局整体政策的指导下，东方晶源将继续响应国家号召、贴近产业发展需求、发挥自身技术优势、推出更多产品、解决更多产业链关键问题，为中国半导体产业发展做出更大贡献。